事实上，真空泵的防腐技术可分为衬里与涂层、超合金与复合材料等几大分类。
1、真空泵的衬里、涂层和电镀工艺特点：
衬里、涂层和电镀技术的主要思想就像铁人一样。低血容量的身体装备了一层耐腐蚀的盔甲。陶瓷衬里、涂层和哈氏合金渗层广泛应用于液环泵、螺杆泵、往复泵和罗茨泵。衬、涂、镀技术经历了百家争鸣的阶段。最后，实践证明，这种装甲型防腐技术确实可行，但也存在一定的局限性，即防护期短，腐蚀安全裕度有限。有客户反映保护层半年后就会消耗掉，需要回厂重新做衬里。但有些客户需要保持生产的连续性和稳定性，仍希望耐腐蚀寿命能更长。
2、合金真空泵的技术特点
超合金耐腐蚀技术主要采用钛合金、哈氏合金和双相钢制造超合金真空泵，广泛应用于液环泵、螺杆泵和罗茨泵。它的特点是耐腐蚀安全裕度高，从里到外都是耐腐蚀的高温合金，相当于变压器，从里到外都是真金白银，所以，它是献给土豪的！
因为即使是高温合金也有自己的弱点，我们引用了论坛的一段话
钛材具有耐腐蚀性强、化学性能稳定、几乎不与任何物质发生反应、机械性能优异等优点，广泛应用于氯碱、氯酸盐、盐酸等车间部门。
但不能用在干氯中。在干燥的条件下，即使低温低于0℃，钛金属也会发生剧烈的化学反应，分解成二氯化钛，反应剧烈时钛金属会燃烧。氯碱部曾发生换热器管子烧坏的事故。
更奇妙的是，当中的含水量大于0.5％时，二者完全不发生反应，钛材相当稳定，这也是钛材在氯碱、氯酸盐、盐酸等部门得到广泛应用的原因。
而钛材重量轻、强度高，使用钛材的设备壁厚通常比钢、不锈钢等材料小得多，在航空航天中也得到广泛应用。
双相钢作为一种新型的含特殊添加剂的合金，其成本与超合金中的人们非常接近。近年来，它已经在很多厂家得到应用，目前正在等待市场的反馈。
3、真空泵的复合材料特性：
复合材料的耐酸性具有固有的优点，因为它不受化学腐蚀和电化学腐蚀的困扰。它通常不与酸反应，但不耐碱。一些复合材料会被有机溶剂溶解，产生膨胀、收缩、失重、增重或强度损失。因此，复合材料的选择比较严格。
