冷凝泵无油,对所有气体的提取速度都很大。特别是水蒸气、H2等萃取速度大,适应性强,冰箱低速工作,移动部件很少,有利于长期可靠的运行。因此,冷凝泵广泛适用于IC生产过程的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延及其他高能粒子加速器。
冷凝泵结构说明是什么?
品种
N型冷凝泵分为水平悬臂端,2级离心泵,共8个品种。单个级别为3N6、4N6、100N130。第二级为2.5N3X2、3N6X2和4N6X2。单级诱导轮有6N6,150N110
凝结泵支撑部分
支撑部分的主要部件是支架、前后铀压力盖及铀组合位于支架的前后径向滚珠铀轴承上,滚动滚珠铀轴承也能承受不平衡的铀方向力。用稀油润滑的话,油量可以在油表上看到。前后铀压力盖均配有毡密封,用铀封条防止漏油。管子堵塞处的洞是用来加油的。换油时,请从钢丝孔中排出油。
密封和传动
泵用柔软的填料密封,铀棒上有可更换的铀盖。泵通过弹性铀机由电动机驱动,从传动方向看,泵逆时针旋转。
冷凝泵工作部分
第一段:主要由硅黄铜80-3铸造的叶轮通过钥匙固定45号优碳制成的轴,叶轮安装在由耐磨铸铁HT20-40制成的泵体、泵盖组成的泵工作室中。动力器通过车轴驱动轴承支撑的轴和叶轮,泵工作。用耐磨铸铁HT20-40制作的套筒、耐磨铸铁HT20-40制作的套筒泵后的包装函中含有充电环,将油浸在石墨石棉绳上,打开盖子,加长两个螺栓,可收紧填料,调节松脱,外部引入高于大气压的密封水。通过交接对准充电环,在整个充电器内隔绝空气,侵犯泵内密封条,防止泵内水泄漏,只排出少量润滑水滴。在叶轮上打开平衡孔,消除轴向推力,使高压区域能与进口低压区沟通,为防止泵体和泵盖磨损,做好维修工作,泵体、泵盖设有密封环,泵体上有丝孔,用于防雨,停车检修时,泵内的水从丝孔中逸出,为方便泵体和泵盖的拆卸,准备了盖子。
二级:其余与一级一样,只有泵盖、泵和中间导叶组成两个工作室,两个室内配有硅黄铜80-3制作的一级叶轮和铸铁HT20-40CuMo制作的叶轮。短带诱导轮:其余与短级相同,只有叶轮材料为铝青铜9-4,在叶轮前添加铝青铜9-4制成的诱导轮,提高气蚀性能。