近些年,运用低温技术来获得真空泵发展趋势迅速。超低温冷凝泵与磁控溅射离子泵、钛提升泵等其它表层吸附泵不一样，其运行原理通常是物理特性的吸咐作用和超低温中的汽体冷疑作用。当一个中性气体分子结构打到一个超低温表面时，将丧失它非常绝大部分的机械能所以被表层的色散力(分子结构彼此很近时，因为外层电子路轨遭受影响而引起的一种与分子结构极化能力相关的影响力)所缚。它一切汽体都能在超低温或很低的条件下被冷疑清 除而获得很低的气体压强。
超低温冷凝泵具备真空值高，抽速大，对大部分汽体无可选择性，样子随意，相对高度清理，工作中气体压强覆盖面广，高流量和低流量都能够胜任等特点;但价格昂贵，保持费用较高，机器设备繁杂，使它运用受限制。经过长期勤奋，现阶段有一些冷凝泵的成本早已下降至能与涡轮分子泵和各类磁控溅射离子泵一样的水准。一般来说超低温冷凝泵可以分为两类：
一种是具备非常大吸咐面积超低温吸附泵，一般是多孔结构的吸收剂(如碳分子筛，氧化铝微粉，硅橡胶，活性炭等)松散沉积或卡紧固定于金属材料携带。汽体在吸收剂表层的物理吸附控温线确定它和空间创建平衡气体压强。因其吸咐作用关键仅 限于单分子层，因此吸附量与面积正相关，其实就是与吸收剂的总数正相关。这类超低温吸附泵做为粗抽泵，坚守在液N2条件下。如作为超高真空泵，大多数坚守在15—2lK范畴。但是由于吸收剂的导热系数低，热传递吸收能力高，它极限值气体压强、抽速和排量得到了限定。当超出某一临界值气旋值，泵会越来越不稳，乃至不可以运用，并且消除冷疑吸咐气体很有可能非常艰难。
